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空气——空分——粗氦、氦气——纯氦、氖气——分离——纯化——纯氦气
3、氢液化法：工业上采用氢液化法从合成氨尾气中提氦。该法工艺是低温吸附清除氮、精馏得到粗氦，加氧催化除氢及氦的纯化，制得99.99%的纯氦气。
原料气——除氮——精馏——除氢——纯化——氦气
4、高纯氦制法：将99.99%的纯氦进一步用活性炭吸附纯化制得99.999%的高纯氦气。

氦气，稀有气体元素的一种，英文名为Helium，元素符号为He，原子序数2。 [1] 无色无味的惰性气体，化学性质不活泼，一般状态下很难和其它物质发生反应。

氦（Helium），为稀有气体的一种。元素名来源于希腊文，原意是“太阳” 。1868年法国的杨森利用分光镜观察太阳表面，发现一条新的谱线，并认为是属于太阳上的某个未知元素，故名氦。氦在通常情况下为无色、无味的气体，是不能在标准大气压下固化的物质。氦是不活泼的元素。氦的应用主要是作为保护气体、气冷式核反应堆的工作流体和**低温冷冻剂。此外，由于密度比空气小且性质稳定，氦还可以作为浮升气体

氦气是仅次于氢气的宇宙中含量*二的元素，占星系星体大约24%的质量。天文学家让森（Pierre Jules cesar Janssen）和洛克耶（Joseph Norman Lockyer）在1868年观察到一条太阳光中的未知特征谱线而发现的。但是一直到1895年，英国化学家拉姆齐（William Ramsay）爵士才在一个富含铀的放射性矿脉中发现地球上也有氦。1903年，美国的天然气油田中发现了大量的氦。

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